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流量规格:(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
(0~1,2,3,5,10)SLM
准确度:±1.5 %F.S
线性:±1 %F.S
重复精度:±0.2 %F.S
响应时间:电特性:10sec 气特性:≤4sec
工作压差范围:(0.1~0.5)MPa
耐压:3MPa
工作环境温度:5℃~45℃
输入输出型号:0V~+5.00V
电源:+15V 50mA -15V 200mA
重量:1.1kg
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