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该供气系统是一种可控制四种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制,此款设备能与各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
配置组件 | 技术参数 | |
质量流量控制器 | 工作电压: | 185~245V 50HZ |
最大输出功率: | 18W | |
流量计标准量程: | 100sccm,200sccm,200sccm,500sccm(非特殊指定以氮气标定,量程可选) | |
工作温度: | 5~45℃ | |
工作压差: | 0.1~0.5MPa | |
最大压力: | 3MPa | |
准确度: | ±1.5% FS | |
机械压力表 | 测量范围: | -0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid) |
针阀 | 316不锈钢 | |
混气罐 | Φ80×120mm | |
截止阀 | Φ6mm”316不锈钢针阀 | |
尺寸 | 600×600×650 mm |